内圆磨床床进给系统的爬行和频响问题是影响工件加工质量的关键问题之一。

沈阳海默数控机床有限公司结合精密和超精密磨削加工需求，设计了以压电陶瓷为驱动器、以柔性铰链为导向支承机构、以单片机为核心的超精密进给系统。

该系统与磨床原有横向进给系统相结合，采用粗、精两级进给，可实现±0.03μm的进给精度。

(1)确定了以柔性铰链组构成的导向支承机构

(2)分析了压电陶瓷驱动器的工作特性，根据导向支承机构的杠杆原理

(3)结合加工实际要求得出导向支承机构的主要性能指标，基于有限元分析等技术，完成了柔性铰链导向支承机构的结构设计、静态刚度分析，设计了柔性铰链预紧机构，以避免压电驱动器承受拉应力

沈阳海默数控机床有限公司自主开发和设计了一套用于控制压电陶瓷的单片机控制系统硬件电路，在建立超精密进给工作台动力学模型的基础上，针对压电陶瓷的特性与硬件电路，研制和开发了基于前馈模型的闭环控制系统。

系统的软件硬件设计采用模块化思想。通过采用位移传感器作为位移反馈装置，对超精密进给工作台实施闭环控制，并采用了基于压电陶瓷非线性模型的控制方法，在一定程度上消除由压电陶瓷自身物理特性引起的滞后误差和环境等因素引起的误差。